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 电子超纯水处理设备的工艺流程  
 名称:电子超纯水处理设备的工艺流程  编号:84532-621 
 

电子超纯水处理设备应用范围概述: 电解电容器生产铝箔及工作件的清洗 电子管生产 电子管阴极涂敷碳酸盐配液 显像管和阴极射线管生产配料用纯水黑白显像管荧光屏生产 玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水 液晶显示器的生产 屏面需用纯水清洗和用纯水配液晶体管生产中主要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制集成电路生产中高纯水清洗硅片等. 二、典型工艺流程 预处理系统-反渗透系统-中间水箱-粗混合床-精混合床-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象 (≥18mΩ.cm(传统工艺) 预处理-反渗透-中间水箱-水泵-edi装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-0.20.5μm精密过滤器-用水对象(≥18mΩ.cm(最新工艺) 预处理-一级反渗透-加药机(ph调节)-中间水箱-第二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯水箱-纯水泵-edi装置-紫外线杀菌器0.20.5μm精密过滤器-用水对象(≥17mΩ.cm (最新工艺) 预处理-反渗透-中间水箱-水泵-edi装置-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.20.5μm精密过滤器-用水对象(≥15mΩ.cm(最新工艺) 处理系统-反渗透系统-中间水箱-纯水泵-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥15mΩ.cm(传统工艺) 三、达到标准 纯化水标准,注射水标准 显像管、液晶显示器用纯水水质(经验数据) 集成电路用纯水水质 国家电子级纯水标准 美国semi标准 四、设备特点 为满足用户需要,达到符合标准的水质,尽可能地减少各级的污染,延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量.在工艺设计上,取达国家自来水标准的水为源水,再设有介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、ro反渗透主机系统、离子交换混床(edi电除盐系统)系统等。 系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用plc可编程控制器,真正做到了无人职守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性

 
 
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